真空度分為低真空、中真空、高真空。低真空容器內(nèi)的殘余氣體類(lèi)似于空氣的氣體組分，中真空狀態(tài)時(shí)，原始空氣比例減少，而以各種材料放出的氣體為主。中、高真空加熱的實(shí)質(zhì)是一種可控氣氛保護(hù)加熱。
真空爐殘余氣體在加熱過(guò)程中有很大的變化。如果吧真空度與相對(duì)雜質(zhì)量看做等價(jià)，并把相對(duì)雜質(zhì)量全部認(rèn)為是水蒸氣，則得出真空度與露點(diǎn)之間的關(guān)系，那么可以推導(dǎo)出兩者之間的數(shù)量關(guān)系。
在一定體積內(nèi)，壓力與分子數(shù)目成正比。一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下，1.033×105Pa∶n=Y∶X，其中n為標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下的分子數(shù)目，X為Y壓力下的分子數(shù)，把這些氣體都當(dāng)做雜質(zhì)對(duì)待。假設(shè)Y壓力下的相對(duì)雜質(zhì)為Z，則：
Z=×100%
通常保護(hù)氣氛爐種，露點(diǎn)在-30~-60℃之間，這相當(dāng)于真空度60~1Pa。保護(hù)氣氛爐達(dá)到這個(gè)露點(diǎn)已經(jīng)是比較高的要求了，而對(duì)真空爐則是比較容易得事情。利用這個(gè)關(guān)系可以確定加熱的真空度。
