物理氣相沉積是在真空條件下，利用物理方法，將沉積物材料汽化為原子、分子或離子化為離子，直接沉積到基體表面的方法。物理氣相沉積有蒸鍍、濺射和離子鍍。由于加熱方法不同和控制粒子運(yùn)動(dòng)的方法不同，PVC的種類也就很多，而且還在不斷地發(fā)展，且每種PVD法都有專用的設(shè)備，工藝方法也在不斷地研究發(fā)展之中。目前的PVD法與CVD法相比形成涂層的成分相差不大，PVD法工件的溫度較CVD法低但涂層要薄，可減少工件的變形但涂層的牢固度低。
PVD方法突出的優(yōu)點(diǎn)是鍍膜溫度低，只有500℃左右，而且溫度還可以降低。雖然鍍膜厚度較薄，但是能有效地提高模具壽命。鍍膜設(shè)備復(fù)雜，價(jià)格高，是其在模具制造上普遍應(yīng)用的主要原因。PVD鍍膜技術(shù)在工模具行業(yè)中應(yīng)用較多，國(guó)內(nèi)一些廠家用PVD法強(qiáng)化模具工作零件表面，使模具壽命提高，獲得了成功的經(jīng)驗(yàn)。如：對(duì)YG20硬質(zhì)合金錄音機(jī)磁頭外殼拉深模模具工作零件進(jìn)行PVD涂覆TiN處理，模具壽命提高3倍以上；經(jīng)低溫沉積TiN涂層的電能表拉深模，其使用壽命由原來(lái)的2000件提高到2萬(wàn)件以上。此外，用65Mn鋼制造的精密平面磨床的主軸，經(jīng)低溫沉積TiN涂層處理后，徑向圓跳動(dòng)達(dá)0.002mm較高精度，耐磨性可提高6～8倍。
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